フラム中国語の意味
例文
- シリコンデバイスでは，断熱化構造として，基板を裏側からエッチングしてダイヤフラム構造を作製する方法と，基板の表面からエッチングしてマイクロホットプレート構造を作製する方法とがある。
对于硅器件，制作隔热化结构使用的方法有从背面对基板进行蚀刻，制作膜片结构的方法，以及从基板的表面进行蚀刻，制作微热板结构的方法。 - このようなマイクロポンプとして，マイクロギヤポンプやマイクロトロコイドポンプ，圧電素子を用いたダイヤフラム式マイクロポンプ等が開発されているが，いずれもポンプ全体の体積に対する吐出量の割合が低い。
作为此类微泵，微齿轮泵、微摆线泵、使用压电元件的膜片式微泵等被开发出来，哪个都是对于泵整体的体积，排量的比例都比较低。 - 誘電体損失を低減するために基板裏面エッチングによるダイヤフラム構造を適用したもの，導体損を低減するために厚膜メッキと３次元リソグラフィ技術を応用したものなど，それぞれに工夫が見られる。
包括为降低电介质损失使用基于底板背面蚀刻的膜片结构的线路，为降低导体损耗使用厚膜电镀和三维光刻技术的线路等在内，都能看到其中的独到之处。 - この装置は，試料と無臭空気を適正な比率で混合し，所定の希釈倍数となるようにする機器であって，図１のように流量調節器，ダイアフラムポンプ，流量計，活性炭槽および混合槽等で構成されている。
该装置是用来以准确的比率混合试样及无味空气并使其达到特定的稀释倍数的仪器，如图１所示，由流量调节器、隔膜泵、流量计、活性炭槽以及混合槽等构成。 - ソース?ドレイン間に圧力差を与えた状態で，ゲートに小信号として微小な圧力を印加するとゲート部分のダイアフラムが変形し，チャネルが形成され，ソース?ドレイン間を流れる流量が変化する。
当向源极、漏极之间施加电压差时，如果在栅极施加作为小信号的微弱电压，栅极部分的膜片会发生变形，并形成通道，由此流经源极、漏极之间的电流量将发生变化。 - 上記より，ダイアフラム型センサ，カンチレバー型センサともに共振周波数において１０ｍＶ／Ｐａのオーダーの感度を有することから，市販のバルクセンサと比較して同等の高感度性を示すことが分かった。
由此可知，对于振膜式传感器、悬臂梁型传感器，其共振频率均具有１０ｍＶ／Ｐａ级的灵敏度，因此，与市面销售的体传感器相比，具有相同的高灵敏度特性。 - 表面のみ酸化膜を除去しダイヤフラム形成のためのＳｉウエットエッチのエッチストップとして１２００℃，窒素雰囲気中で三臭化ホウ素をドーパントソースとしてボロンを熱拡散させ，ドライブインを行う（ｂ）。
只把表面的氧化膜去除，为了隔膜形成的Ｓｉ湿法蚀刻的蚀刻阻挡层，在１２００℃、氮环境中以三溴化硼作为掺杂源，进行热扩散硼，进行驱入（ｂ）。 - 本センサは，ＭＥＭＳ技術を用いて作製した低熱容量薄膜ダイヤフラムを使用しているので，検出部の熱時定数を低減でき，サーミスタやバルクの白金抵抗を用いた流量センサに比べて良好な応答性を得ることができる。
本传感器使用了利用ＭＥＭＳ技术制作的低热容量薄膜膜片，因此能够降低检测部分的热时间常数，与使用热敏电阻和铂电阻体流量传感器相比，能够得到良好的响应性。 - ダイヤフラム内に設けた２本のヒータを直列接続し，その合計の平均温度が環境温度に対し常に一定温度差になるように制御し，２本のヒータの温度差から順流逆流の双方向流量を検出する方式のもので，１０ｍｓｅｃオーダーの脈動に追従出来る。
这是把隔膜内设置的２个加热器串连，控制其总平均温度一直与环境温度保持一定温度差，利用２个加热器的温度差对顺流逆流的双方向流量进行检测的方式，能够追踪１０ｍｓｅｃ量级的脉动。 - 本稿では，ｓｏｌ?ｇｅｌ法を用いてＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ?Ｏｎ?Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板上にＰＺＴ圧電体膜を製膜したダイアフラム構造とカンチレバー構造の異常音検知マイクロセンサの作製プロセスと音波応答特性について述べる。
本文将对利用ｓｏｌ－ｇｅｌ法在ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ－Ｏｎ－Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板上形成的ＰＺＴ压电薄膜的振膜结构、悬臂梁结构异响检测微传感器的制作工艺和声波响应特性进行介绍。
