アライナ中国語の意味
- 直线对准器;调准器;整平器
ライナ衬垫(圈、板);套筒(管);镶条;直线规;班机(轮)
例文
- 露光装置としては,マスクアライナLA?310k(ナノテック製)を用いた。
曝光装置使用掩模对准器LA-310k(纳米科技制造)。 - マスクアライナーの紫外線強度はλ=365nmにおいて99.22W/cm2である。
光刻机的紫外线强度在λ=365nm时为99.22W/cm2。 - その後,下面にアルミ(Al)を蒸着して両面アライナーを利用して下面から3番目のICP?RIEを用いてエッチングする。
之后,在下表面蒸镀铝(Al),利用双面对准机,从下面进行第3次ICP-RIE蚀刻。 - 本研究では,エマルジョングレイスケールマスクと汎用のマスクアライナーを用いてSU?8レジストへのグレイスケールリソグラフィを試みた。
在本研究中,我们使用乳胶灰度掩膜和通用光刻机,尝试了对SU-8光刻胶的灰度光刻。 - ベーク後の基板に対して基板側にテストパターンを5分の1に縮小投影したグレイスケールマスクを重ね,マスクアライナー(ナノテックLA?310k)を用いて露光を行った。
研究人员在烘烤后的基板一侧重叠以5分之1的比例缩小投影测试图案的灰度掩膜,然后利用光刻机(纳米科技LA-310k)进行曝光。