エッチングプロセス中国語の意味
- 腐蚀工艺;腐蚀处理
エッチング蚀刻法,蚀镂术,铜版术,蚀刻画プロセス(英) process 过程;工序;[印刷]化学制版法
例文
- 半導体誘電エッチングプロセスからのペルフルオロ化合物(PFC)排出量を減少させる代替案 費用最小化を図りつつ環境責任を果たすこと
减少半导体导电腐蚀工序排放的全氟化合物(PFC)的代替方案 达到费用最小化,并履行保护环境的责任 - 本論文では,半導体の誘電エッチングプロセスに焦点を合わせ,PFC排出量を推定するボトムアップモデルを用い,PFC排出量削減の代替案を比較検討した。
在此论文中,将焦点集中到半导体导电腐蚀工序,使用推测PFC排放量的颠倒模型,比较讨论了降低PFC排放量的代替方案。 - ガス供給装置と環境調和型半導体エッチングシステム,ULSIの層間絶縁膜エッチングプロセス,地球温暖化防止ガスを用いたチャンバークリーニングプロセスを解説した。
介绍了供气装置和环境协调型半导体浸蚀系统,ULSI的层间绝缘体膜蚀刻工艺,用于制止全球变暖的反应室清洗工艺。 - 本研究では,DRIE技術をさらに発展させた基盤技術とするために,従来のDRIE技術における高アスペクト比化の限界要因を分析した上で,その要因を回避する新しいエッチングプロセスを発案し,その効果を検証した。
在本研究中,为了使DRIE技术成为更加进步的基础技术,研究人员在分析以往的DRIE技术的高长宽比化极限因素的基础上,提出避免其要素的新蚀刻工艺,对其效应进行了验证。